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Dimension Vx340TM原子力显微镜 |
| 发布时间:2003年12月2日 点击次数:429 |
| 来源:半导体国际 作者: |
 Dimension Vx340TM原子力显微镜（Atomic Force Profiler, AFP）是专门针对CMP特性与工艺控制的量测系统。它结合了专用于CMP的算法、原子力显微镜的清晰度和长程扫描能力,使得其显微结构具有直观、可靠、重复性好的特点,能够很好的控制CMP工艺过程。 Veeco www.veeco.com |
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