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　　Dimension Vx340TM原子力显微镜（Atomic Force Profiler, AFP）是专门针对CMP特性与工艺控制的量测系统。它结合了专用于CMP的算法、原子力显微镜的清晰度和长程扫描能力，使得其显微结构具有直观、可靠、重复性好的特点，能够很好的控制CMP工艺过程。     Veeco   www.veeco.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2003/11/12 0:00:00