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气体浓度控制软件 |
| 发布时间:2003年12月2日 点击次数:438 |
| 来源:半导体国际 作者: |
Composer Monitor Software专门为气体浓度控制而设计的。它能使用户通过PC监测和恢复控制气体输送所需要的所有数据。利用该软件,我们可以实时地画出输送到某工艺的气体浓度曲线。通过工作站就可以恢复、改变工艺参数并传送回Composer软件。它可用作监视器,形象反馈并调整MFC流量和温度。工艺过程中它还能自动记录浓度、发泡室流量、稀释流量和其它工艺变量。其Amplitude Track模式可以图表和数据形式不断显示所测得的气体浓度。每台PC可同时运行12个Composer端口。INFICON www.inficon.com |
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