内容导读：

　　Composer Monitor Software专门为气体浓度控制而设计的。它能使用户通过PC监测和恢复控制气体输送所需要的所有数据。利用该软件，我们可以实时地画出输送到某工艺的气体浓度曲线。通过工作站就可以恢复、改变工艺参数并传送回Composer软件。它可用作监视器，形象反馈并调整MFC流量和温度。工艺过程中它还能自动记录浓度、发泡室流量、稀释流量和其它工艺变量。其Amplitude Track模式可以图表和数据形式不断显示所测得的气体浓度。每台PC可同时运行12个Composer端口。
　　INFICON
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来源:半导体国际 作者: 时间:2003/11/12 0:00:00