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KLA-Tencor发布新暗场图形化圆片检测系统 |
| 发布时间:2006年9月18日 点击次数:600 |
| 来源: 作者: |
设计用于实现缺陷低成本检测的Puma 91xx系列,该暗场图形化圆片检测系统在检测速率、灵敏度以及应用于65nm和45nm节点的其他方面有了重大改进。 多套Puma 91xx系列系统已经交付于先进的逻辑、DRAM和闪存代工厂,用于产品在线检测,KLA-Tencor表示,以安装的KLA-Tencor Puma 9000系统可以通过升级以实现91xx系列的性能。 |
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