设计用于实现缺陷低成本检测的Puma 91xx系列，该暗场图形化圆片检测系统在检测速率、灵敏度以及应用于65nm和45nm节点的其他方面有了重大改进。

       多套Puma 91xx系列系统已经交付于先进的逻辑、DRAM和闪存代工厂，用于产品在线检测，KLA-Tencor表示，以安装的KLA-Tencor Puma 9000系统可以通过升级以实现91xx系列的性能。