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EAG将收购Thin Film Analysis |
| 发布时间:2006年9月7日 点击次数:241 |
| 来源: 作者: |
据Semiconductor Reporter网站报道,Evans Analytical Group（EAG）5月22日宣布收购Thin Film Analysis（TFA）公司的所有资产和测试软件。 TFA是研究粒子加速技术的独立实验室,其核心技术包括卢瑟福背散射分析（RBS）,氢正散射分析（HFS）,以及离子通道分析。 EAG声称将把TFA的业务并入其Sunnyvale的制造厂. “RBS分析能够提供成分、厚度以及非破坏性的深度分析,其分析范围可从5纳米到1微米,”EAG首席科学家Charles Magee说,“如果将RBS与HFS,NRA（核磁共振分析）,以及粒子诱导X射线分析合并在同一台粒子加速器中,理论上可以高精度地分析所有的元素而无须使用定标样品。这使得RBS成为EAG已有的SIMS（二次粒子质谱）,AES（俄歇电子质谱）以及X射线光电子谱（XPS）等分析工具的有利补充。 相关链接（英文）： |
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