据Semiconductor Reporter网站报道，Evans Analytical Group（EAG）5月22日宣布收购Thin Film Analysis（TFA）公司的所有资产和测试软件。

TFA是研究粒子加速技术的独立实验室，其核心技术包括卢瑟福背散射分析（RBS），氢正散射分析（HFS），以及离子通道分析。

EAG声称将把TFA的业务并入其Sunnyvale的制造厂.

“RBS分析能够提供成分、厚度以及非破坏性的深度分析，其分析范围可从5纳米到1微米，”EAG首席科学家Charles Magee说，“如果将RBS与HFS，NRA（核磁共振分析），以及粒子诱导X射线分析合并在同一台粒子加速器中，理论上可以高精度地分析所有的元素而无须使用定标样品。这使得RBS成为EAG已有的SIMS（二次粒子质谱），AES（俄歇电子质谱）以及X射线光电子谱（XPS）等分析工具的有利补充。

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