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轮廓仪 |
| 发布时间:2006年5月2日 点击次数:288 |
| 来源:半导体国际 作者: |
Dektak表面轮廓仪实现了硬件改进和软件功能的升级。它能够实现准确的测试, 200毫米的微力扫描,同时使用户控制更直观,提供更多的处理和分析的选项。 “软接触”的特点使这种系统更适合于光刻胶检测,兼容其他材料、工艺特定相关的组件。
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