Dektak表面轮廓仪实现了硬件改进和软件功能的升级。它能够实现准确的测试， 200毫米的微力扫描，同时使用户控制更直观，提供更多的处理和分析的选项。 “软接触”的特点使这种系统更适合于光刻胶检测，兼容其他材料、工艺特定相关的组件。
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