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Axcelis获得干法去胶机巨额订单 |
| 发布时间:2006年9月2日 点击次数:301 |
| 来源:SEMI 作者: |
据Reed Electronics网站报道,Axcelis Technologies, Inc.近期获得了来自于一家大型存储器制造商的20套RadiantStrip 320型光刻胶干法去除系统的订单,该系统针对300mm前端清洁工艺所设计。 RadiantStrip 320系统已经被全球客户广泛接受,该系统具有高效的去除能力,广泛的应用于注入后和刻蚀后清洁,包括完全去除重离子注入光刻胶掩膜。 Axcelis Technologies, Inc.总部位于美国Massachusetts,主要提供半导体行业的创新高生产力解决方案。该公司专注于研发离子注入技术、快速热工艺、清洁和诊断系统。 相关链接（英文）： |
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