据Reed Electronics网站报道，Axcelis Technologies, Inc.近期获得了来自于一家大型存储器制造商的20套RadiantStrip 320型光刻胶干法去除系统的订单，该系统针对300mm前端清洁工艺所设计。

RadiantStrip 320系统已经被全球客户广泛接受，该系统具有高效的去除能力，广泛的应用于注入后和刻蚀后清洁，包括完全去除重离子注入光刻胶掩膜。

Axcelis Technologies, Inc.总部位于美国Massachusetts，主要提供半导体行业的创新高生产力解决方案。该公司专注于研发离子注入技术、快速热工艺、清洁和诊断系统。

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http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXml/LN401684356.html