 |
 |
 导航:老古开发网首页→文章索引→文章分类→测试测量→[KLA-Tencor]
|
| | -文章搜索 - 最新文章 - | |
KLA-Tencor |
| 发布时间:2005年10月20日 点击次数:289 |
| 来源:半导体国际 作者: |
Surfscan SP2是一种针对于无图形晶圆的检测设备,用于晶圆和IC fab目前以及下一代的晶圆衬底的验收,以及在90,65和45 nm节点对工艺设备的监控。它能减小向更小技术节点过渡时的风险,推动fab快速小量试产。它能够检测出小到30 nm的缺陷,为晶圆生产商提供5倍、为IC生产商提供3倍的产能增加。此外,它对于工程晶圆衬底也能够提供一贯可靠的精确的缺陷检测结果。UV激光器发出特定波长的光能消除干涉效应。
|
|
|
|
 欢迎进入老古论坛进行讨论
[测试测量] 相关文章:  提升IC测试厂的产能利用率简介:
前言 IC测试厂最重要的两大指标就是测试品质与生产效率。测试品质的关键在于测试的再现性与可重复性，而生产要素除了合格率的因素外，最主要的就是测试设备的产能利用率。在质的方面，对于经过测试的每一颗IC，要求在最短的时间内测完所有指标，而且不因时间、地点的不同而测得不同的结果。在量的方面，如何提升测试设备的产能利用率，降低机器准备时间、故障维修时间以及如何减少重测，均考验测试厂的工程技术能力与量产的运行能力。 自动测试设备ATE的生产效率 IC测试厂的服务项目，主要包括晶圆测试、成品测试，以及少部分的老化测试与手工测试。 在半导体IC测试服务里，最重要的设备就是...... Applied Materials
解决暗场成像技术延伸晶圆检测
一种宽动态范围的智能测量系统设计
APC工具
磁性编码器提供极高的非接触分辨力
基于串行A/D转换器LTC1286的数据采集系统
集成温度传感器μPC616及其应用
N2X多业务测试解决方案
科利登推出高量产、低成本Sapphire D-10系统 |
|
|
|
下一个:
上一个: