Surfscan SP2是一种针对于无图形晶圆的检测设备，用于晶圆和IC fab目前以及下一代的晶圆衬底的验收，以及在90，65和45 nm节点对工艺设备的监控。它能减小向更小技术节点过渡时的风险，推动fab快速小量试产。它能够检测出小到30 nm的缺陷，为晶圆生产商提供5倍、为IC生产商提供3倍的产能增加。此外，它对于工程晶圆衬底也能够提供一贯可靠的精确的缺陷检测结果。UV激光器发出特定波长的光能消除干涉效应。
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