 |
 |
 导航:老古开发网首页→文章索引→文章分类→新闻热点→[SUSS开发出低成本硅片键合设备]
|
| | -文章搜索 - 最新文章 - | |
SUSS开发出低成本硅片键合设备 |
| 发布时间:2006年9月3日 点击次数:432 |
| 来源:SEMI 作者: |
据Semiconductor Reporter网站报道,Suss微系统公司4月6日宣布开发出一种用于研发和小批量生产的硅片键合设备。 该设备计预苏斯已有的键合技术开发而成,可用于MEMS、先进封装、以及SOI材料制作。这套被称为“Elan”的键合系统可以配合苏斯的MA/BA系列光刻机使用,以进行键合前对准。 该设备作为苏斯高端键合设备,配备了很多苏斯和新技术包括高精度键合后对准,以及计算机控制工艺流程的能力。并且在键合机的真空腔体内密封了电子设备和计算机。这台设备所能进行的封装工艺有：阳极键合、玻璃浆料键合、共晶键合、热压缩法键合以及聚合物键合等。 第一台系统预计在今年7月份出货,售价10万美金左右一台。该系统不仅可以用于研发使用,还可用于MEMS技术的小批量生产。 相关链接（英文）：http://www.semireporter.com/public/12712.cfm |
|
|
|
 欢迎进入老古论坛进行讨论
[新闻热点] 相关文章:  美政府努力促使燃料电池快速引入汽车工业简介:
据国际电子商情网站报道，来自于美国政府部门的监管压力正在推动汽车产业采用燃料电池技术，以降低废气排放和提高燃料转化效率。加利福尼亚州燃料电池合作联盟(California Fuel Cell Partnership)等项目将把燃料电池引入商用汽车。 燃料电池最初可能面向出租车辆，市场调研公司Frost&Sullivan资深分析师Vijay Shankar Murthy表示，在该领域取得成功之后，客车和卡车等其它车辆将随后跟进。 燃料电池利用氢发电，可以帮助人们降低对消耗性化石燃料的依赖。这些能效较高的装置能够大大减少有害气体的排放，水是其唯一的副产品。Murthy表示，预...... ULCOAT被选为SUSS C4NP设备潜在铸型供应商
中国车载GPS市场2007年火热 带动闪存市场增长
Ultra Clean收购Sieger Engineering
NanoWorld选择SUSS晶圆接合系统 用于MEMS技术研发
信越化学投资10亿美元提高300mm晶圆产能
Matsushita收购Elixent
Actel 推出业界首款混合信号 FPGA 的生态开发环境
IBM索尼东芝建新联盟 32纳米和新材料是重点
Actel推出全新SoftConsole开发工具 |
|
|
|
下一个:
上一个: