双重暗视野区光学检测设备

导航:老古开发网首页→文章索引→索引第266页 →文章分类→综合电子→第91页→[双重暗视野区光学检测设备]

第12269篇:双重暗视野区光学检测设备

发布时间:2004年10月20日点击次数:469

来源: 作者:

AITFusion XUV 是最新一代的双重暗视野区光学检测设备,它综合了UV照明技术,实现了65纳米技术环境所要求的关键的灵敏度。新的UV 光学技术－在久经考验的AIT生产平台上整合了Adaptive ModeTM技术、多重独立图形收集系统、先进的检测算法以及其它新特性－确保了AITFusion XUV高速获取重要缺陷的能力,同时极大地减少了对损伤和前一层缺陷的检测。该设备特别适用于检测化学机械研磨（CMP）层、铜/低k以及多层膜堆栈。AITFusion XUV配备了改进的自动定位系统Auto-Positioning System (APS),在实现行业内最低拥有成本（CoO）的同时,提供了更准确的对焦、跟踪性能以及芯片与芯片的注册（die-to-die registration）等。
　　KLA－Tencor,

　　www.kle-tencor.com

欢迎进入老古论坛进行讨论
[综合电子] 相关文章:

台积电上海厂建成试产

简介:
台积电日前宣布其在上海松江工业园的Fab 10 8英寸晶圆厂已经开始试产首批5000片晶圆。　　虽然试产的日期比原定计划为迟，台积电的Fab 10的批量生产估计可以如期于今年第四季度开始。这家晶圆厂一开始将会用0.18和0.25微米工艺生产消费用集成电路(IC)，用0.13,0.18和0.25微米工艺生产通讯用IC以及用0.25微米工艺生产智能卡IC。台积电计划在这个工业园内兴办四座晶圆厂。......

业内第一款4Gb/s PCI Express光纤通道控制器

瑞萨科技发布M61101FP PLL VIF/SIF信号处理IC

TI推出调整版CCS DSP开发环境

TCL移动通信推出MSM6050功能 CDMA20001X手机

下一个:[测试测量]X射线平台

简介:
Cougar-VXP（Versatile X-ray Platform，多功能X射线平台）是模块化的X射线检查平台，可以为用户提供极大的操作灵活性。该平台是为了满足各种检查要求而开发的，包括基本的失效分析和高端检查等。基本硬件结构包括160 KV微聚焦X射线管、X射线强度精确控制系统、标准四轴操作系统、先进的实时影像处理系统包括高分辨率4英寸图像增强系统和平面荧幕监视器。该系统还具有以下特点：占地面积小（1 m2）;重量轻（~1450 kg）;机台前方和侧壁均可打开，设备维护和修理非常方便。 ......