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基于MEMS的原型继电器能处理20GHz信号

发布时间:2002年11月21日 点击次数:416
来源:   作者:Joseph Suda
 
欧姆龙电子公司开发了一种超小型射频继电器的原型产品,这种继电器利用MEMS技术转换高达20GHz信号。这种1.8mm×1.8mm×1mm的显微机械加工继电器(MMR)尺寸只有欧姆龙公司的G6K系列等最小的普通机电继电器的百分之一,是世界最小的接触继电器之一。此外,MMR的介入损失小于等于1.3dB,绝缘大于等于20dB,其射频性能是迄今为止任何继电器不能比的。

  在机电器件不能满足规格要求时通常使用半导体转换器。不过,这些器件有几个不足,包括转换信号功率损失大,带宽窄,以及在转换时产生杂散射频,需要额外的射频过滤器等。

  MMR采用专利的垂直直通结构,在这种结构中,一条连接焊点的导线被垂直做在衬底中。转换是通过MEMS制造产生的实际活动机械触点完成的。

  其他规格包括频率范围2~20GHz,转换速度1ms。该器件采用24V控制信号。

  该器件力争2004年实现商品化。进一步信息,请洽日本东京欧姆龙公司Christopher Udell,电子邮件:christopher_udell@omron.co.jp。


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