德国Infineon技术公司的集成电路研究人员取得了一项碳纳米管技术突破,他们在6英寸圆片的预先指定的地方生长出了碳纳米管（carbon nanotubes, CNT）。Infineon希望利用这个发现用CNT取代芯片中的所有金属导线。

　　CNT的众多特色（包括更高的可靠性和更高的片上时钟频率）使它成为未来半导体技术的最佳材料选择。不过,到目前为止,制作CNT的方法,如激光烧蚀和弧光放电,难以同半导体技术相结合。

　　CNT的最重要性质之一是高电导率,允许通过大电流密度——高达1010A/cm2（铜在107A/cm2就开始熔化）。研究人员预计10年内芯片接线必须能承受高达3.3×106A/cm2的密度,这用普通导线很难做到。

　　电流在CNT中流动时没有摩擦,因此不会产生剩余热量。热量只存在于同其他材料的接触点。CNT的高热导率几乎是钻石（3000W/m-K）的两倍。

　　这项突破性技术的第一个应用是在通孔方面。因为电流密度和热量大,普通通孔往往使芯片的运算功能失真。

　　虽然Infineon的科学家希望CNT最终将完全取代硅半导体技术,但他们的下一步是把当前的二维微电子技术用CNT扩展到适当的三维技术。有关CNT的进一步信息,请洽Infineon技术公司Toni Goodrich,电话：408-501-6382,或访问http://www.infineon.com。