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自动原子力显微镜

发布时间:2004年1月22日 点击次数:335
来源:半导体国际   作者:
 
WA系列原子力显微镜(AFM)是用于300mm晶片非破坏性在线测量的设备。用户可凭借其step-in模式对微观结构,例如浅沟道隔离(STI)在蚀刻过程中的结构变化进行精确测量。它还具有大面积平坦度测量功能,测量面积高达15mm2,测量精度达到纳米级水平,确保为CMP工艺提供平坦度的快速控制和调节。

  Hitachi Kenki FineTech Co. Ltd.  www.hkft.co.jp.

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