Surface Technology Systems plc (STS)公司,近日宣布已接获来自微机电系统 (MEMS) 生产设备制造业者价值超过两百万英镑的订单。 

该订单包括多个Pegasus的反应制程腔体,主要用于消费性成品的MEMS深硅微加工技术。Pegasus提供较其它市面上深硅刻蚀离子反应式蚀刻机台更高的蚀刻率。STS 提供两种多腔体式平台做为多腔体操作之用：VPX 含有一个真空芯片匣和多达三个反应腔体,CPX 则有两个真空芯片匣和多达四个反应腔体。

STS执行长John Saunders说：“接获此订单让我们非常兴奋,不仅因为这是STS接获最大的订单之一,也代表了我们这项八个月前推出的新产品得到业界肯定,获得了巨大的成功。这份订单也证实了我们的多反应腔体系统足以满足量产客户的需求。”

STS 业务营销总监David Haynes补充说：“我们视此订单为对MEMS主制造业者成功利用或销售其设备,做为汽车或消费产品等大量用途的进一步肯定。”

这份新订单将使得STS目前的订货单金额超过1200万英镑,它们都在2006 年交货,大部分在今年上半年。这是STS自2001年以来最高的订货单水平。