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氟气生成系统

发布时间:2003年12月2日 点击次数:431
来源:半导体国际   作者:
 
MicroGen Modular氟气生成系统可为CVD反应器清洗提供大量的氟气,并能在全厂范围内进行输送。将来只需最小限度地添加硬件设备,就可以增加氟气的生成能力。它包括多个氟气生成单元,每单元能产生800g/hr的氟气。每个反应单元分别位于逐个排列的独立柜子里,并通过柜子和中央控制、纯化及储存系统相互连接在一起。
  Fluorine On Call Ltd.

  www.focltd.com

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