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诺发系统有限公司（Novellus Systems, Inc.）与上海复旦大学签订协议,联合成立了“复旦-Novellus互连研究中心”。根据合作协议,Novellus将捐赠给复旦一整套铜互连设备,包括：等离子体化学气相淀积系统( PECVD)、物理气相淀积系统(简称PVD)、电化学镀铜系统(ECD)、化学机械抛光设备(CMP)。
Novellus公司董事会主席和CEO Richard Hill指出：“Novellus此次捐赠的四台设备都是全新的产品,并将于近期陆续运抵复旦。Novellus还将为复旦提供相关的工艺技术,用于复旦大学的教育、培训,并将与复旦协商设立与铜互连相关的研究项目,包括低k介电材料的研究。” Novellus公司CTO Wilbert Van Den Hoek博士对中国半导体制造技术水平的发展速度感到震惊,希望此次捐赠的设备有助于中国半导体制造技术的健康发展。Novellus还在联系光刻与刻蚀设备供应商,为复旦捐赠相关的设备,使得复旦大学能够拥有完整的铜互连相关设备。
复旦大学将成立一个联合技术研究中心,安置该套设备。复旦大学校长王生洪教授说：“复旦大学已为复旦-Novellus互连研究中心配置了数名教授和副教授,还将吸引海外研究人员的加盟。该中心还将为本科生和研究生提供良好的实验环境。” 联合技术研究中心首先将入驻复旦本部,等张江校区完工后,将迁移至位于中国集成电路生产区域中心的张江校区。复旦-Novellus互连研究中心将为复旦大学、其它高校和研究所的研究人员以及本地区的工业界提供服务。
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