设备供应商Mattson公司2月28日宣布，该公司Helios快速热处理（RTP）系统及Suprema去胶系统已赢得某韩国内存大厂订单。该内存厂计划在90纳米以下DDR2和NAND flash中，将Helios用于瞬间退火，将Suprema用于批量及高浓度离子注入后的去胶。

“我们的客户作为世界上最大的内存芯片制造商之一之所以选择Mattson是因为我们的高效率、制程的灵活性以及低成本优势，还有我们过去十年来所提供的出色的客户支持，”Mattson公司韩国事业部经理J. W. Kim说。“这些订单确定了我们的设备在该公司工厂内的地位，我们期待能够继续为该公司世界最先进的生产线提供我们的设备。”

Suprema系统捆绑了Mattson公司的感应耦合等离子体（ICP）技术并结合创新的操作架构，给客户提供最经济有效节省占地面积的高产量去胶系统。而Helios能够满足主要的RTP应用，包括硅化镍的形成和超浅结的瞬间退火等。

Mattson公司是干法去胶设备的领先供应商，是世界第二大快速热处理设备供应商。

相关链接（英文）：http://www.mattson.com/pr060228.asp