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力晶十二吋晶圆厂试产

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我国台湾地区的力晶半导体日前宣布,其十二吋晶圆厂已开始以130纳米制程试产,目前十二吋晶圆性能良率也达八成,整体良率为五成,由于十二吋晶圆量率已达到量产目标,力晶已决定将从第四季起提高产能以15000片月产能量产,预计到明年第一季单月产能折算将达约2000万片256Mb DRAM,这将使力晶跃升为台湾地区DRAM厂龙头。

力晶方面表示,此次十二吋厂以130纳米制程试产256Mb DRAM,晶圆性能良率达八成,已充分证明十二吋晶圆量产DRAM的技术可行性,由于晶圆整体良率超过半数,为加速产品推出时程,力晶已将首批十二吋晶圆送至下游封测厂,之后交由最终客户端进行验证。

力晶还进一步指出,在十二吋厂成功试产后,更可采取金属线光罩选择方式择量产DDR/SDRAM规格产品,具有极大弹性,预计首批投片目标为单月15000片。

而除力晶外,茂德、南亚等业者也积极部署十二吋厂,其中茂德已率先于第二季以140纳米制程试产256Mb DRAM,而南亚十二吋厂也已于正式破土动工。 
来源:中电网   作者:  2002/9/21 0:00:00
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