根据研究机构iSuppli的报告，由于12英寸晶圆厂投产纷纷延后以及其他因素拖累，2003年全球半导体设备资本支出估计将仅增长1.5%，2004年将扩大至10.6%。

iSuppli指出，预计2003年半导体设备资本支出将由2002年的301亿美元增长1.5%至306亿美元。2004年将增长10.6%，达338亿美元。其他研究机构如VLSI则认为半导体设备支出必须延至2005年方可能大幅反弹。IC Insights指出，2003年年中全球共有5条12英寸晶圆试产线、12座12英寸晶圆厂；估计至2004年年底，全球将有7条12英寸晶圆试产线、20座12英寸晶圆厂。2002年当时12英寸晶圆仅占全球晶圆产能的4%，但2007年则将增至27%。

iSuppli分析师指出，半导体业转向12英寸晶圆工艺仍有甚多问题，潜在的原因就是高端产品需求没有预期那么强，高端工艺的产出也令人失望。而如今芯片商获利程度并没有达到足以投资下一代生产设备的地步。