FSI加入大马士革联盟为铜导线双镶嵌工艺提供清洗技术

明尼阿波利斯，2004年5月11日——FSI国际公司(Nasdaq：FSⅡ)今天宣布与Novellus系统公司签订一项合作协议，加入大马士革联盟(Damascus AllianceTM)。大马士革联盟由多家半导体设备公司组成，致力于将铜导线双镶嵌(copper dual damascene)工艺用于先进器件的制造。FSI将于7月在Novellus的客户集成中心(CIC：Customer Integration Center)安装全自动的300mmZETAR喷雾式清洗系统。FSI在通道刻蚀(via etch)、凹刻蚀(trench etch)、凸刻蚀(barrier etch)清洗和其它表面处理领域的专门技术都可以用于铜和低介电常数(10wk)材料的双镶嵌工艺，这些技术为联盟其他成员的专门技术锦上添花。

“FSI在为半导体产业提供表面处理技术方面拥有多年的丰富经验，是加入大马士革联盟的理想的晶圆清洗公司。”Novellus客户集成中心经理David Williams说，“除了FSI的优秀历史经验，采用ZETA系统也会为我们带来丰富的300mm生产经验、灵活性和可升级的清洗技术，这些对于我们的创新活动都很重要。”

本文摘自《电子工业专用设备》