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SCI在中国大陆售出首台FilmTek薄膜特性测量仪 |
| 发布时间:2007年4月7日 点击次数:119 |
| 来源:中电网 作者: |
继向中国大陆售出多套模拟软件FilmWizard之后,总部位于美国加州的SCI(Scientific Computing International)公司近日首次获得来自中国大陆客户的FilmTek2000PAR型膜厚测量仪订单。该仪器通过光学方法测量反射光获得薄膜的相关信息,如功率谱密度,Rs 及Rp等,与SCI研发的软件拟合出电介质函数,最后进行优化算法。  该仪器采用240nm-860nm波段范围的光源,进行非接触测量,通过FilmTek2000PAR软件数据拟合,可同步获得0度入射的反射率,薄膜厚度, N值,K值,能带隙,组份,结晶度,表面粗糙度等参数。 据透露,该公司FilmTek系列 (FilmTek 1000,2000,3000,4000) 仪器还可广泛适用于测量半导体 （包括 300mm 硅片）, LCD, OLED和电介质材料, 镀膜玻璃, 光学抗反薄膜, 多层光学薄膜,电光材料,激光腔镜, 金属薄膜, 光盘等。 |
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