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N9310A射频信号发生器 |
| 发布时间:2006年7月23日 点击次数:649 |
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[测试测量] 相关文章: 未来CD-SEM校正标准的发展简介:
在德克萨斯州立大学与Sematech协作的、德克萨斯发起的先进材料研究中心(AMRC),人们正在试图将硅纳米线应用于微电子行业,作为SEM测量标准。 该大学Brian Korgel领导的这个项目,已经找到方法来制造硅、锗以及其他半导体纳米线,直径小到4纳米,长度达几个微米。如果这些纳米线能够单独地制造出来,并且它们的直径是已知的,那就有可能将它们制备在芯片的边界,作为CD-SEM的校正标准。 Korgel和研究生Doh Lee、Hsing-Yu Tuan正在开发一种标准的合成方法,以便能够生产出大量的这种目标直径±1纳米范围内的纳米线。该工艺已经发展到一天内能够制造...... TOC分析仪
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