爱德华先进科技（BOC Edwards）于2006年台湾半导体设备暨材料展中展出数项新系统产品，提供世界级半导体制造商与实验室所需之真空、废弃处理装置、化学物质管理设备与服务。

　　GX series 干式真空泵浦之设计用于轻量至中量之半导体制程应用，包含：load-lock, transfer, metrology, lithography, PVD, RTA, strip/ash, oxide etch, silicon etch, metal etch 与implant source等应用。效能改善后的新产品，降低了使用者成本。GX series产品在应用压力范围之内不需任何维修即可持续运作，至目前为止，在全球已输出将近2,000台的 iGX/GX泵浦产品，成为在该产业中受到最广泛认同、最可信赖的泵浦产品。

　　最新的系统解决方案是以全球领先的iH series干式泵浦为基础，特别针对在重制成应用如: CVD, high-k ALD 与 RTP制程所需之可靠性做设计

，该泵浦的特色在于操作时的高温控制与叶片造型的精密设计，藉以改善粉尘的处理。iH泵浦之所以不需维修，是采用以油脂润滑轴承的设计，藉以减少了高成本的定期服务与停机时间。爱德华先进科技（BOC Edwards）在与OEMs合作之下，发展出许多延长使用周期与降低成本的系统，像是ReGIS™ 与 ALDiS等系统于ALD 制程应用。近期推出的iH-FL是针对易燃气体混合排放控制的产品以降低设备风险。 　　 

　　全新的 EPX 180 Twin 产品将load lock pump的停机时间降低了四成，整体生产力也有实质的提升;EPX体积缩小压缩幅度与on-tool 的安装方式是针对轻度制程应用所设计的真空干式泵浦产品，像是load lock与 transfer chambers等等，都是广为业界领导制造商所采用的产品;EPX提供格外轻巧的包装，已售出超过3,000台产品，其可靠度可见一般。使用独有的专利机械设计，EPX 180系列产品的运用范围可从常压至 <10-4 Torr 的压力之下，EPX 500更能提供 <10-6 Torr的压力之下运作，也能取代 Turbo 与 Dry Pump 的泵浦组合。 　　 

　　STP-XA2703C 高速分子泵浦 在运用压力于高真控至2,300sccm制程流量范围中能提供最高效率，整体生产力均大幅提高;此泵浦有全新的平台设计，能提供改善温度管理的功能，提升于重制程应用中的表现，增加到最大的运作能力，降低腐蚀与沈积的影响。该产品的全球顶级表现能在各种不同应用中展现，像是半导体的etch, implant, lithography 与 LCD流程，STP-XA2703C产品已广为领导型制造商采用，并获得许多制造商之认同，做为在使用45nm与未来技术之应用设备设计上的基本泵浦产品。 　 

        爱德华先进科技（BOC Edwards）是微电子设备制造的整合解决方案领导厂商，包含半导体与平面显示器等;欲实验室、玻璃厂、加工工具制造商保有良好伙伴关系，爱德华先进科技（BOC Edwards）提供能改进流程的次系统，同时在全球提供客户提供顶级的操作与维护服务。