超高纯微电子化学品项目于上海正式建成投产
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日前,由上海华谊(集团)公司及其麾下的上海中远化工有限公司和台湾著名的电子化学品公司—联仕电子化学材料股份有限公司联手成立的合资企业——上海华谊微电子材料有限公司年产15000吨超高纯微电子化学品项目正式建成投产。该项目的投资总额超过1.7亿元人民币,装备了国际一流水平的分析检测仪器,拥有达到一级标准的化验净化房等特殊专用设施,产品质量达到SEMI C12标准,可以满足12英寸芯片的超大规模集成电路制造工艺要求。
来源:半导体国际 作者: 2006/9/22 0:00:00