美国特拉华大学的工程师近日宣布,他们解决了妨碍数字光处理器(DLP)在功率敏感的领域获得普及应用的功率问题。

   DLP通常采用微机电系统(MEMS)来控制微透镜阵列的角度。然而,对于像空间探测这样的功率敏感应用,即使调整微透镜倾斜度的微放大器,其功耗都大到让DPL无法使用。

   今年美国国家科学基金会CAREER奖金得主、特拉华大学工程系教授Balaji Panchapakesan宣布,利用微光机械系统(MOMS)解决了这个问题。MOMS利用激光来激励倾斜的、微小的反射镜悬臂,取代了用电流为气体、压电或静电执行机构供电的传统方法。

   一种活性光纳米管薄膜使得MOMS能够通过超低激光来激励,从而不必采用消耗功率的电流激励方法。研究人员表示,对于空间探测和场致显示及生物医学扫描仪这样的新应用,其功耗足够低了。

    该技术利用标准的CMOS工艺步骤形成了一层碳纳米管薄膜图案,由它制成了300×30×7um的光激励悬臂阵列。当其基座由808nm波长、170mW半导体激光照射的时候,这些悬臂会偏离23um。

   Panchapakesan表示,他们已经积累了直接在纳米管上形成薄膜的经验。特拉华大学已经获得了该技术的临时专利权。