ULVAC半导体海外营销部的 Yuji Shikishima 在SEMICON China 期间表示ULVAC的ENTRON系列PVD设备很有可能为无锡海力士12英寸项目所定购。鉴于ULVAC在日本和韩国市场的成功经验,Yuji Shikishima认为他们的300mm PVD设备对中国市场很有信心。

ULVAC的ENTRON系列产品可以对应最新的铜配线制程,节省空间设计,速度快,处理能力强等特点。ENTRON产品从3个chamber 到8个 chamber 配置可供选择。

ULVAC的设备领域主要涉及半导体、平板、真空设备、表面分析、控制设备与尖端设备,其中半导体与平板各占20％和60％左右,剩下的20％业务来自其他领域。