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Advanced Energy推出全新系列稳压式流量控制器（MFCs）

发布时间:2006年8月13日点击次数:255

来源:SEMI 作者:

全新的Aera® PI-980™ 系列稳压式流量控制器（MFC）实现了比以往技术或同类竞争产品更快的响应时间、更稳定的气体流量、更高的准确度以及更卓越的实时控制。PI-980系列尤其适应于蚀刻（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）以及扩散（diffusion）等工艺的应用。值得一提的是,PI-980系列更稳定的气体流量实现了反应仓间工艺更高的可重复性,从而达到了最优化的良率。系统先进的设计整合了传统的热流技术、压力传感器、温度传感器以及专利的NeuralStep™控制算法,创造了一个一体化的产品,从而节约了以往为了完成相同功能而需要的许多昂贵气体管路元件的使用。综合的诊断分析方法提高了系统的正常运行时间,进而能够迅速、轻松地解决故障问题。

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