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ECI展示湿法清洗溶液快速分析法 |
| 发布时间:2006年8月13日 点击次数:255 |
| 来源:SEMI 作者: |
随着FEOL和BEOL湿法溶液成分的复杂以及精度的提高,在线的精确分析日益重要。ECI在SEMICON China期间宣布推出QualiSurf实时分析监控方法,用于SC1、SC2、BHF、SPM等试剂以及其它新的化学混合物的分析。 QualiSurf支持wet station和single wafer设备,它是一种非破坏性光学测试系统,能够精确检测出高度稀释后的多成分试剂的成分。 ECI总裁兼CEO Marianna Rabinovitch说：“ECI是全球领先的铜电镀溶液分析技术供应商,面对清洗领域的新应用与挑战,ECI进入了更广泛的市场领域。” |
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