据EE Times网站消息，半导体设备供应商亚微纳（Aviza Technology Inc.）5月22日宣布已向“中国领先的代工厂”售出其新一代单硅片原子层淀积系统，据分析该代工厂可能为中芯国际。

这套被称为Celsior的系统将用于90纳米节点工艺。其技术平台来自于被亚微纳收购的Trikon Technologies，而其软件平台曾被用作全球晶圆厂中各种CVD、PVD和刻蚀系统，已得到产业界的广泛认证。而其最新的改进在于该设备的腔体，这种腔体能够提高产量、降低化学品消耗，拓宽反应窗口，因而降低了设备的拥有成本。

“ALD是90纳米工艺中缩小器件尺寸的关键工艺，”亚微纳副总裁兼ALD业务总经理Subrata Chatterji说。“我们认为Celsior能够提供给客户高产量和低成本的单硅片ALD生产，而且，这笔订单是亚微纳进入中国市场的重要标志。”

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