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BTU公司完成AtmoPlas科技和Dana研发部门的收购 |
| 发布时间:2006年9月7日 点击次数:337 |
| 来源:SEMI 作者: |
据Semiconductor Reporter网站报道,生产设备供应商BTU International Inc.近期宣布,该公司已经基于破产保护第11章的条款,完成对于AtmoPlas technology和Dana Corp.研发团队的收购。收购的具体的财务细节没有被披露。 AtmoPlas的工艺可以用来实现在大气压强下,利用微波能量所激发的等离子体进行零件加热。传统的等离子体是在低压或真空条件下被激发的,这增加了设备的成本和复杂性。BTU公司表示相比于传统的微波工艺,AtmoPlas设备的性能不需要真空条件,这提供了多方面的竞争优势。 BTU表示,我们期待经过深入的研发,此项技术可以提供具有较大的工艺灵活性、适当的循环时间、适当设备占地面积和产能的解决方案;同时期待应用于电子、能源产生以及其他领域。 相关链接（英文）： |
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