据reed-electronics网站报道,ADE公司近期宣布,该公司从日本圆片供应商获得了WaferSight(TM)圆片质量检测系统的百万美元订单,将为此客户的300mm圆片于2006年后半年和2007年上半年提供服务。
Gartner预测300mm晶圆片的需求将于2006增长41%,2007年增长18%,2008年增长40%。圆片供应商已经宣布在日本、台湾、美国,300mm圆片的生产扩能已经开始。ADE公司的WaferSight型圆片几何测量系统适用于65nm硅圆片产品并可扩展适用于45nm工艺。
ADE公司总裁Chris L. Koliopoulos表示,器件的良率和性能从裸圆片开始,全球的圆片供应商和器件生厂商均信赖ADE的计量检测系统所提供的高质量的产品性能和制程结果。ADE公司将会于7月11-13日举行的Semicon West展会上展示其全系列晶圆服务系统。
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http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXml/LN391734214.html
