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机载真空干泵 |
| 发布时间:2006年4月21日 点击次数:321 |
| 来源:半导体国际 作者: |
为了响应现代半导体工业对真空干泵的通用性,低耗能,高稳定性和高性能的要求,BOC Edwards推出了新一代的GX系列真空干泵。GX Series主要适用于轻度和中度的硅半导体和复合半导体应用。由于GX泵紧凑的结构和低振动等特性,它能灵活地被安装在机台里,机台边或远离机台的地方。与之前的IQ和IH系列真空泵相比,GX减少了占地面积和能源消耗,从而降低了运行成本。GX是专为更高要求的300mm工艺设计的,但也能有效地运用在200mm的工厂。GX系列真空泵有多种型号和抽速--100, 300, 600 和 800 m3h-1 (59, 177, 353 和 471 cfm)。所有型号都能持续在大气状态下运行。
BOC Edwards www.bocedwards.com |
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