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Axcelis大剂量注入机获得日本内存芯片制造商订单 |
| 发布时间:2006年9月3日 点击次数:252 |
| 来源:SEMI 作者: |
据Reed-electronics网站报道,Axcelis技术公司日前宣布已获得全球最大的内存芯片制造商之一的订单,订购其Optima HD大剂量离子注入机。将于今年第二季度内发货。 该新型离子注入机不仅能够完成传统材料的大剂量离子注入,还能够完成分子注入和氢注入等工艺。 Axcelis公司董事长兼CEO Mary Puma说,Axcelis与该内存制造商有良好的合作背景,很高兴通过此新订单双方的友谊又增进一步。Optima HD具有高度的灵活性,它不仅可以完成传统的离子注入,其扩展功能为下一代器件研发包括双多晶硅栅以及氢元素的应用提供了便利,这使得Optima HD成为客户最明智的选择。 相关链接（英文）： |
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