BlueShift发布新型圆片工艺平台

据Semiconductor Reporter网站报道，BlueShift Technologies Inc.近期发布了一款具有高连接适应性的圆片搬运系统，该系统在增强质量控制和提高圆片产量的基础上，充分考虑了减少设备占地面积和系统成本。

BlueShift公司先进的QuickLink高真空机械手臂系统，通过QuickBlue软件实现控制，目标瞄准小批量制程。该设备现阶段配置于300mm圆片工艺制程，该公司表示该系统可以升级到450mm圆片工艺制程。

QuickLink传送将可以有效改善真空工艺隔离、减少圆片与圆片之间的交叉污染、实现圆片热应力的最小化风险，同时该系统可以提供卓越的低粉尘颗粒性能。