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AE公司的射频能量供给系统被ECD Ovonics公司采用

发布时间:2006年9月6日 点击次数:380
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来自先进能量公司(Advanced Energy, Inc., AE)消息,该公司日前宣布其Dressler Cesar 射频能量发生器及其VarioMatch匹配网络已经被能源转化设备公司(Energy Conversion Devices, Inc., ECD Ovonics)采用,作为其25MW光伏制造设备的能量供给方案。ECD Ovonics公司的全资子公司United Solar Ovonic将使用该设备生产太阳能电池,用于建筑物屋顶等。

作为薄膜材料的领先工具开发商,ECD Ovonics一直在寻求灵活方便的与其制造平台相集成的的能量产生系统,Cesar 射频能量发生器及VarioMatch匹配网络配合使用能够满足ECD Ovonics对于射频能量供给的所有严苛要求,包括为不同工艺步骤相应采用不同能量水平。

“ECD Ovonics已经成为我们多年来重要的客户,并在其上几代太阳电池制造设备中一直采用AE的能量供给方案。我们很高兴能够为其最新产品提供我们的Cesar能量系统,”AE公司总裁兼CEO Hans Betz博士说。“AE从事太阳电池市场多年,随着该市场中像ECD Ovonics这样的公司的不断创新,AE公司也在这个不断增长的市场中获益。”

Cesar射频发生器专为满足广泛的等离子体制造流程应用。它能够产生2到60兆赫兹的频率和300W到5kW的不同功率水平,并提供水冷和气冷两种冷却方案。其标配包括一个互动的操作面板,大尺寸的液晶显示屏,友好的操作软件界面,以及VarioMatch 匹配网络控制器等。Cesar发生器还采用业界公认的E等级架构,以确保其小型化和轻重量的设计。

AE公司创建于1981年,是全球领先的高科技制造工艺开发和半导体、平板显示技术、光盘、DVD等先进技术的设备供应商。通过提供不同领域的领先技术,AE能够为客户提供高产量、低成本的制造技术,包括向全球的OEM和终端用户提供全面的能量,流量管理,加热设备,以及等离子体和离子束源技术等。

AE在北美、亚洲和欧洲等地通过设立分公司、以及通过代理商和分销商等为全球客户提供销售和技术支持。


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