ODP（光学数字影像仪）是一种提供完整的散射测量解决方案的系统。该系统由两部分构成：ODP PAS-T3轮廓应用服务器，以及创建模块与构建库的ODP TeraGen。这种非破坏性的特征成像系统，能够针对先进的半导体晶圆以及掩膜版上的二维、三维结构，迅速给出真实精确的截面分布图。该解决方案为光刻、刻蚀和CMP工艺设备提供了适合于生产的、高效的集成测量方法。该系统针对数据完整性、应用范围、时效性，以及生产效率，都做了相应的优化。
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