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Timbre Technologies |
| 发布时间:2005年10月20日 点击次数:269 |
| 来源:半导体国际 作者: |
ODP（光学数字影像仪）是一种提供完整的散射测量解决方案的系统。该系统由两部分构成：ODP PAS-T3轮廓应用服务器,以及创建模块与构建库的ODP TeraGen。这种非破坏性的特征成像系统,能够针对先进的半导体晶圆以及掩膜版上的二维、三维结构,迅速给出真实精确的截面分布图。该解决方案为光刻、刻蚀和CMP工艺设备提供了适合于生产的、高效的集成测量方法。该系统针对数据完整性、应用范围、时效性,以及生产效率,都做了相应的优化。 |
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