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Bede与IMEC合作新材料X-ray计量研究 |
| 发布时间:2006年9月5日 点击次数:359 |
| 来源:SEMI 作者: |
据Semiconductor Reporter网站报道,Bede X-ray Metrology近期宣布,公司已经加入了与研究机构IMEC的合作协议,将合作研究应用X-ray实现45nm工艺及以下的新型半导体材料制程控制中的计量。 一套Bede的X-ray计量系统将安装于IMEC 300mm的研发工厂,用于新型半导体材料的表征。该系统在一个平台上集成了高分辨率X-ray衍射(HRXRD)、X-ray衍射(XRD)和X-ray反射(XRR)技术,应用于制程的前端和后端工艺控制,包括应力硅、高k栅介质、金属栅、互连和低k隔层介质(ILD)等。 我们很高兴IMEC选择了BedeMetrix-L,我们正在与全球领先的研发中心合作,Bede销售与市场主管Frank Hochstenbach表示,这将使我们在最先进的制程技术和先进材料方面受益。同时,我们也将为IMEC伙伴在制程控制方面提供多种解决方案。 相关链接（英文）： |
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