老古开发网首页
导航:老古开发网首页文章索引文章分类新闻热点→[Bede与IMEC合作新材料X-ray计量研究]
| -文章搜索 - 最新文章 - |

Bede与IMEC合作新材料X-ray计量研究

发布时间:2006年9月5日 点击次数:359
来源:SEMI   作者:
 

据Semiconductor Reporter网站报道,Bede X-ray Metrology近期宣布,公司已经加入了与研究机构IMEC的合作协议,将合作研究应用X-ray实现45nm工艺及以下的新型半导体材料制程控制中的计量。

一套Bede的X-ray计量系统将安装于IMEC 300mm的研发工厂,用于新型半导体材料的表征。该系统在一个平台上集成了高分辨率X-ray衍射(HRXRD)、X-ray衍射(XRD)和X-ray反射(XRR)技术,应用于制程的前端和后端工艺控制,包括应力硅、高k栅介质、金属栅、互连和低k隔层介质(ILD)等。

我们很高兴IMEC选择了BedeMetrix-L,我们正在与全球领先的研发中心合作,Bede销售与市场主管Frank Hochstenbach表示,这将使我们在最先进的制程技术和先进材料方面受益。同时,我们也将为IMEC伙伴在制程控制方面提供多种解决方案。

相关链接(英文):
http://www.semireporter.com/public/14311.cfm


欢迎进入老古论坛进行讨论
[新闻热点] 相关文章:
Tegal获得日本晶圆厂900系列蚀刻设备订单
简介:
据Reed-Electronics网站报道,应用于IC和纳米器件的等离子体蚀刻和淀积设备设计与制造商Tegal Corporation近期宣布,公司获得了两家日本领先公司关于Tegal 900系列等离子体蚀刻设备的订单。Tegal 900系列自发布以来,已经向全球半导体晶圆厂销售了1500套。 Tegal 900系列蚀刻设备具有一个RF二极管等离子体发射源,可以为多种薄膜实现最佳蚀刻,并具有低成本优势。灵活的圆片自动处理系统、紧凑设备占用空间和广泛的制程使得900系列蚀刻设备广泛的应用于各种领域,包括硅CMOS、无源集成器件、MEMS器件和薄膜磁头制造。 Tegal为先进半导体和......

美光确定停产NOR闪存 既有订单持续供应至结束
WiMedia Alliance完成第四次PHY测试
Varian半导体收到Elpida多笔订单
Axcelis发布新型分子注入设备
阿尔卡特、朗讯合并成功 年营收250亿网络巨头诞生
ASAT制造业务将提前4个月搬到东莞
ASAT东莞新厂四月底完工 全部制造业务转移至中国
菲律宾获得探卡生产/维修联合投资
ASAT6月将完成东莞工厂制程搬迁
 
下一个:[行业观察]中国数字电视终端应需求生
简介:
作者:彭瑞财 数字电视从设计到终端的生产,并不是一条简单的链条。 就在中国数字电视标准出台后,众多电视机生产企业在第一时间内发布了基于中国数字电视标准的数字电视。如此快速的市场反应让不少消费者意欲一窥其中奥妙。 “正是生存在数字电视标准背后的产业链条上的各个环节共同支撑起了数字电视终端这一重要的平台。”资深分析师程宏向《财经时报》介绍。 快速的市场反映 9月5日,康佳推出了6款基于国标的数字电视,包括4款CRT电视、2款液晶电视。之所以能在国内第一时间内推出基于国家标准的数字电视,康佳彩电事业部副总经理马彪表示,这与在数字电视传输标准的讨论过程中,康佳参与......
 

上一个:[新闻热点]芯片制造设备订单持续下滑 VLSI预期8月份订单出货比为1.00

老古开发网版权所有 2006年9月 asp.Net V2.0 设计:老古
页面缓存:10分钟 执行时间:16毫秒