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吉时利第三代晶圆射频测量功能产品

发布时间:2005年12月13日 点击次数:587
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吉时利仪器公司(Keithley)发布了用于半导体生产的第三代晶圆射频 (RF) 测量能力的产品。该射频参数测量系统的RF选件解决方案(选配件),能提供连续、自动、实时的测试和质量监控,操作方便,可获得最高通过率的信息吞吐量,测量质量高,且成本较低。 此外,该射频参数测量系统在全球范围内,是目前唯一获得验证的半导体参数测量系统,适合200mm和300mm晶圆厂进行应用参数工艺控制,以及高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。

吉时利公司的RF选件包括S680型SimulTest选件、自动探针板卡(可更换)及测试结构,可在探针touchdown中及相同的探针触地范围内进行同步直流和射频测量。这一点可以从S680型参数测试结果得到证实,吉时利公司的RF选件具有DC-RF同步的直接驻泊(direct-dock)功能,其运行频率为40GHz。

Keithley公司


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