Monitor eXpert（MX 4.0）是一套能实现Surfscan SP1工具的可选软件，它能在一次单独的扫描中同时提供工艺监测信息和计量缺陷探测，而且获得不同种类的内在工艺特征的临界观测能力。此软件包括一个新的模糊雾分析功能，能够在检测中过滤非常轨的模糊图形，而且可以使使用者鉴别这些先前没有检查过的和对工艺工程师来说“不可见的”缺陷。明场测量能实现Surfscan SP1系统来定量大区域和低分布的缺陷。
KLA-Tencor, 
www.kla-tencor.com