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2004年4月~ 5月半导体与FPD制造新投资项目一览 |
| 发布时间:2004年7月26日 点击次数:379 |
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[综合电子] 相关文章: 复旦-诺发互连研究中心投入运行简介:
由美国诺发系统公司(Novellus Systems)与复旦大学合作成立的“复旦-诺发互连研究中心”近日正式投入运行。据悉,该研究中心是目前中国唯一主要从事铜互连技术的研究机构。 复旦-诺发互连研究中心由复旦大学和诺发公司于2003年10月联合成立,旨在建成为一个先进铜互连工艺技术的研究中心,为复旦及国内其它院校、科研机构的相关专业学生、研究人员,以及诺发的本地客户服务。据介绍,此研究中心拥有诺发系统捐赠给复旦大学价值1200万美元的一整套铜半导体工艺设备,包括PECVD、PVD、ECD、CMP等设备。据了解,Novellus工程技术人员已为该中心安装了全部设备,并调试完毕了两台设备。 ...... Chartered在中国拓展代工业务
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