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Rudolph公司DMSVision良率管理系统获两12寸厂垂青

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世界领先为半导体制造行业提供微缺陷检测系统的Rudolph Technologies公司日前宣布,两家300mm存储器制造厂商已经安装DMSVision良率管理系统。这两家厂商目前正采用70nm工艺,其中一家将在2008年转向45nm。

DMSVision管理系统能够收集存储并分析整条生产线的监测测量数据,工程师依此快速消除并修正工艺缺陷。该系统为客户提供了更快的反应速度、更有效的分析能力,使得投资收益最大化。

Rudolph数据分析业务部总经理Mike Plisinski表示,Rudolph独特的产品定位包括前段和后段市场,DMSVision系统同样可适于广泛领域的数据处理过程,是目前业界最佳的分析工具。

相关链接(英文):http://www.rudolphtech.com/News_News20070917DMSVision.aspx

来源:SEMI   作者:  2007/9/20 0:00:00
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