据Semiconductor International网站报道，半导体设备制造商Novellus Systems Inc.发布了两款Gamma Express干法剥离系统和清洁平台的衍生系统：G400——面向高产能存储晶圆厂，GxT——面向先进逻辑消费电子的需求。

Novellus总经理Kevin Jennings介绍道，首台G400灰化系统装入了一家亚洲高产能存储器制造厂商，而GxT系统已经在两家代工厂商中量产了一段时间。

Gamma Express设备于两年前问世，吞吐量可达280至330片/小时。G400系统的吞吐量为350至400片/小时，其机械处理极限为420片/小时。

GxT系统的吞吐量为250至300片/小时，这对于代工厂商和逻辑IC客户来说非常重要。该系统面向对缺陷控制非常苛刻的65nm和45nm逻辑晶圆厂。

Jennins称，这两款新系统将促进Novellus在干法剥离和清洁市场上增加份额，该市场的大小约为4至5亿美元。去年，Novellus宣称公司占据了23.2％的干法剥离和清洁市场。

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http://www.semiconductor.net/article/CA6562203.html