内容导读：

国际测试大会（ITC2003）将于9月29日举行，今年的焦点将转移到测试工程师日渐关注的微机电系统技术（MEMS）上。

ITC2003将安排两场MEMS讲演，其中介绍性的研讨专场将包含MEMS器件的加工。来自Sandia国家实验室和卡内基梅隆大学的工程师的演讲将涵盖MEMS器件的设计、加工和行业应用。

另一场MEMS测试会议将探讨MEMS器件的失效机制。在失效信息的基础上，演讲者将详细阐述MEMS器件的测试。

本年度大会的主题是“突破测试接口瓶颈”，演讲题目范围从纳米技术到系统测试。

本文摘自《半导体技术》

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来源:中电网 作者: 时间:2003/9/19 0:00:00