该MEMS测试平台为各种MEMS应用和器件封装提供标准激励、功能测试和校准方案。该仪器通常与标准的MT93或MT99比重测试夹持设备一起使用，用来进行MEMS器件的终测和校准。使用比重夹持设备可以在热处理环境中准备样品，排除了以往从准备样品到测试转运过程中带来的影响，并且可以在测试后对样品分类。测试平台通过四个平行的位置同被测样品接触，并向被测的传感器样品施加加速度、压力、光或磁场等激励。该系统可以承受的温度范围为-55到155℃，并且是第一台支持四角测试位置的MEMS测试平台。
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